In der anspruchsvollen Welt der Halbleiterfertigung, wo Reinheit und Präzision unerlässlich sind, zählt jede Komponente – insbesondere Dichtungslösungen Hier ist der Ort Perfluorelastomere (FFKM) sich als unbestrittener Champion hervortun.

Die Halbleiterfertigung ist mit extremen Bedingungen verbunden: aggressive Plasmaumgebungen, hohe Temperaturen (oft über 300 °C) und der Kontakt mit starken Chemikalien und Ätzmitteln. Standard-Elastomere wie FKM (Viton®) oder Silikon können sich zersetzen, was zu Partikelbildung, Werkzeugverunreinigungen und kostspieligen ungeplanten Ausfallzeiten führt.

FFKM bietet eine einzigartige Reihe von Eigenschaften, die diese Herausforderungen direkt angehen:

Außergewöhnliche Chemikalienbeständigkeit: Durch seine vollständig fluorierte Struktur bietet es eine nahezu universelle Beständigkeit gegenüber aggressiven Prozesschemikalien, Plasma und harschen Reinigungsmitteln wie O₃, HF und SC-1/SC-2-Lösungen.

Ultrahohe Reinheit: FFKM-Komponenten weisen extrem niedrige Gehalte an extrahierbaren Metallen und ionischen Verunreinigungen auf, wodurch eine Kontamination verhindert wird, die empfindliche Wafer beschädigen könnte.

Überlegene thermische Stabilität: Es behält seine Elastizität und Dichtungskraft auch bei dauerhaft hohen Temperaturen bei, wo andere Elastomere aushärten und versagen würden.

Ausgezeichnete Plasmabeständigkeit: FFKM ist für Ätz- und Beschichtungskammern von entscheidender Bedeutung, da es Erosion und „Verstaubung“ durch direkte Plasmaexposition widersteht und die Partikelerzeugung minimiert.

Wichtigste Anwendungen in der Fabrik:

CMP (Chemisch-Mechanische Planarisierung): Dichtungen und Membranen für abrasive Suspensionen.

Ätz- und CVD-Kammern (chemische Gasphasenabscheidung): Kritische O-Ringe, Dichtungen und Dichtungsringe in Wafer-Prozessmodulen.

Wafer-Handhabung: Dichtungen in Robotern, Verladeschleusen und Transfermodulen.

Nassverarbeitung: Dichtungen für Bäder und Leitungen, die hochreine Säuren und Lösungsmittel transportieren.

FFKM erfordert zwar eine höhere Anfangsinvestition, sein Wert liegt jedoch auf der Hand: Es maximiert die Anlagenverfügbarkeit, sichert die Ausbeute und gewährleistet die Prozessintegrität. In einer Branche, die von immer kleineren Strukturgrößen und strengeren Kontaminationskontrollen geprägt ist, ist FFKM nicht nur ein Material – es ist ein unverzichtbarer Wegbereiter für die fortschrittliche Halbleiterfertigung.