Was sind die Gründe für den Versuch, metallfederunterstützte Dichtungen in Halbleiteranwendungen zu verwenden?
Die metallfederunterstützte Hochleistungsdichtung besteht aus Hochleistungspolymer, das die Dichtungsherausforderungen der Drehbewegung, der Begrenzung des Reibungswiderstands, der Ebenenänderung entlang der Dichtfläche und der dynamischen Abdichtung lösen kann.
Federunterstützte PTFE-Dichtungen sind für extrem niedrige Temperaturen im Bereich von -270 ° C bis zu extrem hohen Temperaturen ausgelegt, die manchmal 300 ° C überschreiten. Das spezifische Design kann extremen HTHP-Kombinationen (Hochtemperatur-Hochdruck) standhalten. Federunterstützte PTFE-Dichtungen haben ein radiales Design und ein Gleitringdichtungsdesign , das für statische und dynamische Anwendungen geeignet ist. Federbeheizte PTFE-Dichtungen sind gegenüber fast allen Chemikalien inert, mit Ausnahme von geschmolzenen Alkalimetallen, Hochtemperatur-Fluorgas und Chlortrifluorid. Zu den verfügbaren Federmaterialien gehören Edelstahl wie 1.4301 und Elgiloy ® , Hastelloy ® und Inconel 718. MSE-Dichtungen werden aufgrund ihrer geringen Integrationskosten, ihres ultrahohen Drucks, ihres breiten Betriebstemperaturbereichs und ihrer chemischen Korrosion häufig in der Luft- und Raumfahrt, Energie und Biowissenschaften eingesetzt Widerstand.
Ansicht einer typischen MSE-Dichtungskonfiguration
Für den Halbleitermarkt können wir die chemische Beständigkeit nutzen und mit einem neuen Federdesign kombinieren, um eine Dichtung mit niedrigem Differenzdruck für nasschemische Anwendungen ohne Formbearbeitung bereitzustellen, da MSE aus einer optimierten isostatischen Druckformrohlingform hergestellt wird.
Für weitere Informationen über unsere MSE-Designprodukte wenden Sie sich bitte an den JST-Vertriebsmitarbeiter.
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