Mit der Weiterentwicklung immer anspruchsvollerer Prozesse in der Halbleiterfertigung sind die Betriebsbedingungen extrem anspruchsvoll geworden – hohe Temperaturen, aggressive Plasmen, korrosive chemische Gase und strenge Reinheitsanforderungen stellen nahezu unerträgliche Herausforderungen an Dichtungsmaterialien dar. JST hat die Kalfluo®-Serie auf den Markt gebracht. Dichtungslösungen aus Perfluorelastomer (FFKM) , das sich der Erfüllung der Hochleistungs- und Zuverlässigkeitsstandards führender internationaler Marken verschrieben hat.

Warum ist FFKM die unumgängliche Wahl für Halbleiterversiegelung ?

FFKM stellt die höchste Leistungsstufe unter den Elastomerwerkstoffen dar. Seine vollständig fluorierte Molekularstruktur verleiht ihm unvergleichliche Eigenschaften:

• Außergewöhnliche chemische Beständigkeit: Hält nahezu allen chemischen Medien stand, einschließlich starken Säuren, Basen, Lösungsmitteln und verschiedenen polaren Substanzen, und zeigt eine außergewöhnlich gute Leistung bei Nassätz- und Reinigungsprozessen.
• Hervorragende Hochtemperaturbeständigkeit: Unsere Kalfluo®-Serie funktioniert effektiv von -10 °C bis 300 °C. Beispielsweise behält unsere Sorte 8520 ihre Dichtungsleistung auch bei langfristiger Einwirkung in Umgebungen mit extrem hohen Temperaturen wie LPCVD und Epitaxieöfen.
• Geringe Ausgasung und Emissionen: Minimiert flüchtige Emissionen unter Hochtemperatur-Vakuumbedingungen, verhindert eine Kontamination der Prozesskammer und gewährleistet die Reinheit der Dünnschichtabscheidung und Waferhandhabung.
• Überlegene Beständigkeit gegen Plasmaerosion: Wirksamer Widerstand gegen Plasmabeschuss bei Prozessen wie Trockenätzen und PECVD, wodurch Oberflächenprobleme wie Pulverbildung, Kriechspuren und Risse reduziert werden und die Lebensdauer verlängert wird.
• Geringe Druckverformung: Behält auch bei längerer Hitze und Druck eine hervorragende Elastizität und Rückstellkraft bei und gewährleistet so eine dauerhafte und stabile Versiegelung.

JST-Dichtungen bietet nicht nur Standard FFKM-Dichtungen sondern auch umfassende Unterstützung – von der Materialauswahl, dem Strukturdesign und der FEA-Simulation bis hin zur Produktion in Reinräumen der Klasse 10000. Wir stellen sicher, dass jedes Produkt die extremen Anforderungen der Halbleiterindustrie an Zuverlässigkeit und Sauberkeit erfüllt.