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Mit der Weiterentwicklung immer anspruchsvollerer Prozesse in der Halbleiterfertigung sind die Betriebsbedingungen extrem anspruchsvoll geworden – hohe Temperaturen, aggressive Plasmen, korrosive chemische Gase und strenge Reinheitsanforderungen stellen nahezu unerträgliche Herausforderungen an Dichtungsmaterialien dar. JST hat die Kalfluo®-Serie auf den Markt gebracht. Dichtungslösungen aus Perfl...
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