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JST KALFLUO 8520 ist eine Art FFKM- Material, das speziell für Hochleistungsanwendungen ausgehärtet ist und eine hohe Reinheit, gute chemische Beständigkeit und Wärmestabilität aufweist. Es wird hauptsächlich in der Halbleiterherstellung eingesetzt und ist ein ideales Dichtungsmaterial für die meisten trockenen ( Plasmaätzen , PECVD, LPCVD, Metall-CVD, PVD, ALD, Plasmareinigung) und nassen Halblei...
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