JST KALFLUO 8520 ist eine Art FFKM- Material, das speziell für Hochleistungsanwendungen ausgehärtet ist und eine hohe Reinheit, gute chemische Beständigkeit und Wärmestabilität aufweist. Es wird hauptsächlich in der Halbleiterherstellung eingesetzt und ist ein ideales Dichtungsmaterial für die meisten trockenen ( Plasmaätzen , PECVD, LPCVD, Metall-CVD, PVD, ALD, Plasmareinigung) und nassen Halbleiterprozesse (Waferreinigung, Polymerentfernung, Nassätzen, Polieren).

Es ist für Anwendungen im Temperaturbereich von –10°C bis 300°C geeignet.

Physikalische Eigenschaften von KALFLUO 8520:

Flüssigkeitsbeständigkeitseigenschaften von KALFLUO 8520:

Metallelementerkennung (Lösungsmittelimmersion) von Kalfluo 8520:

Nachweis von Metallelementniederschlägen in 18 MΩ UPDI-Wasser bei 80 °C über 720 Stunden, Teile pro Milliarde (ppb, µg/l) ICP-MS-MS)

Testergebnis:

Bemerkungen: 1 – Nachweisgrenze: 1 ppb; 2 – ND = Nicht nachgewiesen.