Der Halbleiterindustrie erfordert Präzision, Zuverlässigkeit und kontaminationsfreie Umgebungen, um reibungslose Produktionsprozesse zu gewährleisten. Im Mittelpunkt dieser Mission stehen spezialisierte Dichtungslösungen, die extremen Bedingungen standhalten. FFKM (Perfluorelastomer) O-Ringe haben sich als Goldstandard für kritische Anwendungen in der Halbleiterherstellung etabliert und bieten eine beispiellose Beständigkeit gegenüber aggressiven Chemikalien, Plasmaeinwirkung und ultrahohen Temperaturen.

Warum FFKM in Halbleiteranwendungen herkömmliche Materialien übertrifft

O-Ringe aus Perfluorelastomer (FFKM) verfügen über Kohlenstoff-Fluor-Bindungen, was sie zu einem der thermisch, oxidations- und chemisch stabilsten fluorierten Polymere macht.

Für Prozesse wie Plasmaätzen, chemische Gasphasenabscheidung (CVD) und Waferreinigung FFKM-Dichtungen Bewahren Sie die Integrität dort, wo andere Materialien zerfallen, und verhindern Sie so die Entstehung kostspieliger Partikel oder ungeplante Ausfallzeiten.

JST hat FFKM KALFLUO®-Dichtungsprodukte entwickelt, um den immer anspruchsvolleren Dichtungsanforderungen von Geräteherstellern und -anwendern in der Halbleiter-, Petrochemie-, Instrumentierungs-, Energie-, Biopharmazie-, Lebensmittel- und Medizinindustrie gerecht zu werden.