Perfluoretherkautschuk (FFKM) ist ein Hochleistungsdichtungsmaterial, dessen hervorragende Leistung zu seiner Anwendung im gesamten Fertigungssystem von Halbleiterprodukten geführt hat. Die FFKM-Dichtung ist eines der wichtigsten Verbrauchsmaterialien, die für die Herstellung integrierter Schaltkreise benötigt werden.

Hauptleistungsmerkmale von FFKM:

1) Physikalische Eigenschaften

FFKM hat eine Dichte von 1,9–2,0 g/cm³, seine physikalischen und mechanischen Eigenschaften ähneln denen von Fluorkautschuk, und seine Beständigkeit gegen Druckverformung bei hoher Temperatur ist der von Fluorkautschuk überlegen.

2) Chemische Beständigkeit

Ähnlich wie PTFE wird FFKM von keinem Medium außer bestimmten Lösungsmitteln mit hohem Fluorkohlenstoffgehalt angegriffen und ist beständig gegen mehr als 1600 chemische Lösungsmittel wie starke Säuren, starke Basen, organische Lösungsmittel, Ultrahochtemperaturdampf, Ether, Ketone, Ester und Stickstoff Verbindungen, Wasserstoffkarbide, Alkohole, Aldehyde, Furane und Aminverbindungen.

3) Es ist beständig gegen hohe und niedrige Temperaturen und seine Betriebstemperatur beträgt im Allgemeinen 260 ~ 290 ℃. Es kann intermittierend für hohe Temperaturen von 316 ℃ verwendet werden.

4) Dampfbeständigkeit bei hoher Temperatur

5) Geringe Freisetzung und Ausfällung

6) Plasmabeständigkeit, die in einer Plasmaumgebung eine hohe Reinheit und geringe Ausfällungseigenschaften aufweist und dem Plasmaeinschlag lange standhalten kann.

Halbleiteranwendungen von FFKM

In der Halbleiterfertigung ist die Zuverlässigkeit von Elastomerdichtungen entscheidend, und die Kosten für den Austausch von Dichtungen bei Produktionseinstellung sind extrem hoch. Um mögliche Risiken zu vermeiden, sind die Anforderungen an Sauberkeit und Reinheit der Dichtungen sehr streng. Gleichzeitig müssen die Dichtungen in der Lage sein, unter dem Druck von Hochvakuum und korrosiven chemischen Gasen sowie in Hochtemperaturumgebungen lange Zeit zu arbeiten.

FFKM ist ein kostspieliger Rohstoff und wird häufig für anspruchsvolle Dichtungsanforderungen verwendet, die andere Kautschuke nicht erfüllen können, wie z. B. in der Halbleiterfertigung. FFKM ist beständig gegen Plasmakorrosion, Gaskorrosion, Säure- und Alkalikorrosion, Hochtemperaturkorrosion und hohe Reinheitsanforderungen für Gummidichtungen , wodurch die Unversehrtheit der Dichtung erhalten, die Wartungszeiten verkürzt und die Sicherheit verbessert werden. Es ist das beste Dichtungsmaterial für die Halbleiterfertigung.